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SiC高溫氧化爐
專用于硅-碳化合物(SiC)氧化處理,可實現(xiàn)SiC片高溫環(huán)境下完成高溫氧化工藝; 設(shè)備適用于SiC功率器件制造中的高溫氧化工藝環(huán)節(jié); 加熱腔與工藝腔獨立密閉設(shè)計,提供工藝腔的潔凈度。
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